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KASHIYAMA樫山工業(yè)噪音干式真空泵SDL36E60 能夠很好地應(yīng)對(duì)芯片、FPD的大口徑化通過高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間通過組合可實(shí)現(xiàn)大排氣量化。滿足超過15萬L/min的要求。通過確保大氣側(cè)排氣速通過大型負(fù)載鎖定室的高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間。

KASHIYAMA樫山工業(yè)SDL20E50水封式真空泵 能夠很好地應(yīng)對(duì)芯片、FPD的大口徑化通過高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間通過組合可實(shí)現(xiàn)大排氣量化。滿足超過15萬L/min的要求。通過確保大氣側(cè)排氣速通過大型負(fù)載鎖定室的高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間。

KASHIYAMA樫山工業(yè)水封式真空泵SDL12E50 能夠很好地應(yīng)對(duì)芯片、FPD的大口徑化通過高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間通過組合可實(shí)現(xiàn)大排氣量化。滿足超過15萬L/min的要求。通過確保大氣側(cè)排氣速通過大型負(fù)載鎖定室的高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間。

北崎KASHIYAMA樫山工業(yè)SDE603X干式真空泵 采用立式螺桿和特殊材料的高耐腐蝕性、采用單螺桿形狀實(shí)現(xiàn)節(jié)能、多樣化的產(chǎn)品線可滿足所有流程

KASHIYAMA樫山工業(yè)耐加工干式真空泵SDE303X 采用立式螺桿和特殊材料的高耐腐蝕性、采用單螺桿形狀實(shí)現(xiàn)節(jié)能、多樣化的產(chǎn)品線可滿足所有流程