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KASHIYAMA樫山工業(yè)MU1218P/H噪音干式真空泵 能夠很好地應(yīng)對芯片、FPD的大口徑化通過高速排氣縮短節(jié)拍時間通過組合可實現(xiàn)大排氣量化。滿足超過15萬L/min的要求。通過確保大氣側(cè)排氣速通過大型負載鎖定室的高速排氣縮短節(jié)拍時間。

原裝KASHIYAMA樫山工業(yè)干式真空泵MU600P/H 能夠很好地應(yīng)對芯片、FPD的大口徑化通過高速排氣縮短節(jié)拍時間通過組合可實現(xiàn)大排氣量化。滿足超過15萬L/min的要求。通過確保大氣側(cè)排氣速通過大型負載鎖定室的高速排氣縮短節(jié)拍時間。

進口KASHIYAMA樫山工業(yè)MU300P/H干式真空泵 能夠很好地應(yīng)對芯片、FPD的大口徑化通過高速排氣縮短節(jié)拍時間通過組合可實現(xiàn)大排氣量化。滿足超過15萬L/min的要求。通過確保大氣側(cè)排氣速通過大型負載鎖定室的高速排氣縮短節(jié)拍時間。

KASHIYAMA樫山工業(yè)耐加工真空泵MU180P/H 能夠很好地應(yīng)對芯片、FPD的大口徑化通過高速排氣縮短節(jié)拍時間通過組合可實現(xiàn)大排氣量化。滿足超過15萬L/min的要求。通過確保大氣側(cè)排氣速通過大型負載鎖定室的高速排氣縮短節(jié)拍時間。

KASHIYAMA樫山工業(yè)MU100P/H耐加工真空泵 能夠很好地應(yīng)對芯片、FPD的大口徑化通過高速排氣縮短節(jié)拍時間通過組合可實現(xiàn)大排氣量化。滿足超過15萬L/min的要求。通過確保大氣側(cè)排氣速通過大型負載鎖定室的高速排氣縮短節(jié)拍時間。